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Varian复合分子泵性能优良,节能的同时也降低了发热,提高了复合分子泵的可靠性,优化了空气散热的冷却片,从而获得更高的稳定性。除此之外可以优化Turbo-V 81-M MacroTorr 复合分子泵的几何结构,提高前级耐压和足够大的抽气量,降低能耗和发热,可拆卸的前级管道接口可选空气或水冷却方式进行冷却。
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Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵维修,Agilent Turbo-V81-M安捷伦涡轮分子泵进气法兰口CFF4/ISO63,出气法兰口KF16,抽速可达到77 L/s ,转速为80000rpm,极限压力5X10-10 mbar (3.8X10-10 Torr),Agilent Turbo-V81-M对应的控制器为:Agilent Turbo-V81-AG
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Agilent Turbo-TV301安捷伦分子泵导航控制器维修,Agilent Turbo-TV301安捷伦涡轮分子泵导航控制器输入电压100/120,220/240VAC,输出频率50-60HZ,功率300VA。
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使用新机械密封的效果好于旧的,但新机械密封的质量或材质选择不当时,配合尺寸误差较大会影响密封效果;在聚合性和渗透性介质中,静环如无过度磨损,还是不更换为好。因为静环在静环座中长时间处于静止状态,使聚合物和杂质沉积为一体,起到了较好的密封作用。
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美国Agilent TwisTorr 304 FS涡轮分子泵维修
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尽量避免频繁启停分子泵在匀速工作时,转子叶片仅受到离心力的作用(真空下阻力很小可以忽略不计),即远离轴心的方向的拉力;而在加速和减速的时候,叶片还受到转动切线方向的力,相当于对叶片进行弯折的力。显而易见,对叶片进行弯折对其疲劳寿命的贡献更大。
另外,分子泵在加速时功率较大,内部发热比较严重,频繁的启停(两次启动间隔<30 分钟)会造成热量累积,使分子泵内部的温度过高,加剧轴承磨损。
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