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安徽南环物资发展股份有限公司
主营：氧气,氮气,二氧化碳
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特种气体种类：电子气体可以分为电 子特种气体和电子大宗气体。电子气体在电子产品制程工艺中广泛应用于离子注入、刻 蚀、气相沉积、掺杂等工艺，被称为集成电路、液晶面板、LED 及光伏等材料的“粮食” 和“源”。灭菌特种气体由于它的活泼型，杀菌力强、杀菌谱广，对物品损害轻微等优点，已成为目前主要的日常低温灭菌方法之一，特种气体指半导体生产环节中，比如延伸、离子注进、掺和、洗涤、 遮掩膜形成过程中使用到一些化学气体，也就是气体类别中的电子气体，
特种气体的储存注意事项：储存场地的道路，应占整个场地面积的20%以上。充填容器和空容器需要明确区分存放。充填容器入库前需检漏，长期存放的充填高压容器需要每月复检一次，并做记录。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。特种气体主要包括高纯气体、电子气体、标准气体三大类，电子特种气体（简称电子特气）是特种气体的 一个重要分支，是超大规模集成电路（IC）、平面显示器件（LCD、LED、OLED）、太阳能电池等电子工业生产不 可或缺的原材料。
特种气体的储存注意事项：根据储存的气体类型设置标牌，如“严禁明火”、“危险”、“禁止入内”等等。并配置消防器材、喷淋系统、吸收剂、中和剂、防毒面具、空气呼吸器等设施。灭菌特种气体主要应用于（绷带、缝线及手术器具）、包装、纺织品、橡塑制品、化妆、粮食等产品及贮藏方面的杀菌。特种气体在太阳能电池中的应用：非晶硅太阳能 电池在 LPCVD 沉积 TCO 工序用到 DEZn、B2H6；非晶/微晶硅沉积工序用到 SiH4、PH3/H2、 TMB/H2、CH4、NF3 等。
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第8年
