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打开或关闭瓶阀(或汇流排气管道上端口的主阀)时,只能用手或扳手缓慢进行,防止高速静电。永远不要使用锤子.凿子.管钳.克丝钳.打开和关闭长柄螺钉、扳手和其他工具,以避免损坏阀门或冲击压力表。
当发现瓶阀泄漏、无法排气或存在其他缺陷时,关闭瓶阀,用不易褪色的标记将发现的缺陷标记在瓶体上,然后送回气体填充单元进行处理。
瓶子里的气体不应该用完,剩余的压力必须留下。气瓶的剩余压力不得小于0.05MPa;应保留不少于00的液化气气瓶.5~1.0%规定充装量的剩余气体;溶解瓶的剩余气体压力不小于0.3MPa。气瓶留有余压:一是防止倒灌,二是便于气体充装单位检查。
气瓶投入使用后,气瓶不得挖补.焊接修理。
气瓶投入使用后,严禁擅自更换气瓶的钢印和颜色标记,严禁气瓶改装。
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在选择输送管道的材质时,我们需要考虑其渗透性、耐腐蚀性、吸附性、机械工艺性等特性。
1.目前市面上超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料大多选用不锈钢材质。像不锈钢光亮退火管、不锈钢电抛光管等这类材质相较于其他管道的材质,其精密度更高、吸水性弱,且耐腐蚀性强,而且材料成本相对综合,较受欢迎。
2.对于易炸或者有毒高纯气体,如(SiH4)、(PH3)、(AsH3)等高纯气体,我们需要使用双套管通道,将其内外都进行保护。双层设计不仅可以保护内管受到外力撞击,也能将由内管渗漏的气体阻绝于外管里面,防止泄露发生安全事故。而且对于这类气体检测装备,像压力警报器、检测泄漏器等设备都需要定期检查,避免泄气漏气。
3、选择管道管材时必须选用无缝管材。且的造型设计、内外直径尺寸都是需要测量的。而且对于材质的磨损缺陷需要及时复查,任何表面不均匀的现象都可能会造成腐蚀性不匀从而造成重大影响。
4、特别需要注意的是,所以高纯气体的管路中能使用非金属管线、密封垫片,以及非金属隔膜的减压阀、膜片阀等材质。因为这类气体对于有机聚合物都有较高的渗透率,气体之间的相互渗透将会影响气体的纯度。
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首先,液氧和氧属于强氧化剂,一旦受到明火威胁,很容易发生,并与一些物质结合产生性混合物。当它们与可燃物接触或受到冲击时,会造成的后果,因此这种情况造成的损失将是不可挽回的。在低温环境下,如果液氧温度在-182.83℃下,会迅速气化,使局部低温现象人的皮肤和眼睛。当氧气处于完全干燥的环境中时,会产生静电,从而吸引金属颗粒的灰尘,产生放电现象。在这种情况下,它会释放出更强大的静电。如果没有有效的静电去除装置,很容易造成放电风险。
在维修氧气管道的过程中,如果不更换管道中的空气,管道中所含的氮气和空气将产生破坏性的影响和燃烧。在某些情况下,管道也容易腐蚀,这是因为管道壁薄,设计中没有充分考虑热膨胀和冷收缩,导致管道强度下降,导致管道爆裂,然后气体泄漏。
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