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气体管道设计规范
(1)氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时,应有换气1~3次/h的通风措施。
(2)按标准单元组合设计的通用实验室,各种气体管道也应按标准单元组合设计。
(3)穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷设在预埋套管内,套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间采用非燃烧材料严密封堵。
(4)氢气、氧气管道的末端和顶端宜设置放空管。放空管应高出层顶2m以上,并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样点和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。
(5)氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。
(6)管道敷设要求
① 输送干燥气体的管道宜水平安装,输送潮湿气体的管道应有不小于0.3%的坡度,坡向冷凝液体收集器。
② 氧气管道与其他气体管道可同架敷设,其间距不得小于0.25m,氧气管道应处于除氧气管道外的其它气体管道之上。
③ 氢气管道与其可燃气体管道平行敷设时,其间距不应小于0.50m;交叉敷设时,其间距不应小于0.25m。分层敷设时,氢气管道应位于上方。室内氢气管道不应敷设在地沟内或直接埋地。不得穿过不适用氢气的房间。
④ 气体管道不得和电缆、到店线路同架敷设。
⑤ 气体管道宜采用无缝钢管。气体纯度大于或等于99.99%的气体管道宜采用不锈钢管、铜管或无缝钢管。
⑥ 管道与设备的连接段宜采用金属管道,如为非金属软管,宜采用聚四氟乙烯管、聚氯i乙烯管,不得采用乳胶管。
⑦ 阀门和附件的材质:对氢气和煤气管道不得采用铜质材料,其它气体管道可采用铜、碳钢和可锻铸铁等材料。
特气管道系统 Special Gas Pipeline System 是指SiH4,NF3,Cl2 等一些具有高危险性,应确保安全性的特气。公司提供从供气系统;因此,在温度变化较大的管道和需要有自由位移的常温管道上,需要设置膨胀节,使管道的伸缩得到补偿而消除附加应力的影响。排气处理、监视系统的综合管理系统;建立以安全为第i一的特气管理输送系统。提供设计、选型、制造、安装、测试、调试和系统托管服务等整体解决方案。
特种气体是光电子、微电子等领域,特别是超大规模集成电路、液晶显示器件、非晶硅薄膜太阳能电池、半导体发光器件和半导体材料制造过程不可缺少的基础性支撑源材料。它的纯度和洁净度直接影响到光电子、微电子元器件的质量、集成度、特定技术指标和成品率,并从根本上制约着电路和器件的精i确性和准确性。实验室是一个特殊的工作区域,从安全、经济社会效应及实际使用效益角度考虑,形成系统的供气迫在眉睫,实验室供气系统的安全系数应通过集中供气来实现,气瓶供气已逐步淘汰。
工程项目覆盖半导体、集成电路、平板显示、光电、汽车、新能源、纳米、光纤、微电子、石油化工、生物医i药、各类实验室、研究所、标准检测等高科技行业;为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案;逐步成为行业领i先的整体系统供应商。
高纯气体管道工程的变温吸附法除水步骤有哪些?
1、用固体CaCl2除水,水份可降低至0.1%(体积)以下;
2、用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份,为了除去高纯气体中的杂质水,资料表明工业上常用硫酸洗涤除去高纯气体夹带的水份。在保持过程佳工艺的理想条件下,水份可降至0.01%(体积)以下;
3、采用冷冻法来脱除高纯气体中水,可降到600~1000ppm,夏季水份还要更多些;
4、JMT型干燥剂是一种含硅i铝比的丝光沸石型分子筛,具有良好的热稳定性,除在300℃前有一脱水而引起明显吸热峰外,在900℃前无明显的分解峰,说明其晶格具有优良的稳定性。
特气管道工程
特气就是特种气体,指那些在特定领域中应用的, 对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多, 通常可区分为电子气体、标准气、环保气、气、焊接气、杀菌气等, 广泛用于电子、电力、石油化工、采i矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时,应有换气1~3次/h的通风措施。区别于我们呼吸的空气(含21%氧,78%氮,1%水、二氧化碳等),其纯度一般在99.99%(4N)以上。
特气管道施工一般分为主系统,二次配主系统,根据客户要求有气源送到用气点附近的管道一般没有什么危险,只要根据客户要求按照规范去施工,二次配管VMB阀箱预留阀到机台接点之间的管道施工,一般都会在无尘室进行,二次配管的危险在于主通道已经通上气体介质,我们在无尘室施工,要在客户工程师的陪同下进行,对于无尘室的阀门及类似阀门的开关,不要乱动,无尘室都会安装气体探头和气体泄露报警装置,一旦有气体泄露,我们应丢下手中任何工作,通过安全指示撤出无尘室。【实验室气体管路安装检验】实验室承包商要保证气体管路系统的清洁,所有气体管路的检验根据标准程序。
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