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电子工业用混合气是指在大规模集成电路(LSI)、超大规模集成电路(VLSI)和半导体器件制造中,用于气相外延生长、化学气相淀积、搀杂、蚀刻和离子注入等工艺(工序)的一类特殊电子混合气。主要有外延(生长)混合气、化学气相淀积用混合气、搀杂混合气、蚀刻混合气和其他电子混合气。
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用不同Ar、He组合能控制阴极斑点的位置,提高电弧电压和热量,保持Ar的有利特性。但He的体积分数小于10%时会影响电弧和焊缝的力学性能,与Ar混合的 He的体积分数至少应在20%以上才能产生和维持稳定喷射电弧的效果。He的加入量视板厚而 定,板越厚加入量越大。
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